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行業百科全書

  • 流化床法

    以四氯化矽、氫氣、氯化氫和工業矽為原料在流化床內(沸騰床)高溫高壓下生成三氯氫矽,將三氯氫矽再進一步歧化加氫反應生成二氯二氫矽,繼而生成矽烷氣。 制得的矽烷氣通入加有小顆粒矽粉的流化床反應爐內進行連續熱分解反應,生成粒狀多晶矽產品。

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