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行業百科全書

  • 矽烷法

    矽烷(SiH4)是以四氯化矽氫化法、矽合金分解法、氫化物還原法、矽的直接氫化法等方法制取。然後將制得的矽烷氣提純後在熱分解爐生產純度較高的棒狀多晶矽。

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