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行業百科全書

  • 改良西門子法

    改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫和工業矽粉在一定的溫度下合成三氯氫矽,然後對三氯氫矽進行分離精餾提純,提純後的三氯氫矽在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶矽。

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