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行业百科全书

  • 直拉法(CZ)

    首先把多晶硅料和掺杂剂放在石英坩埚中加热熔化。然后把籽晶放于溶硅中,待籽晶周围的溶液冷却后,硅晶体就会依附在籽晶上。在温度和拉速达到要求后把晶体向上提拉。在晶体提拉到预定要求后,会把尾部拉制成锥形,这样一支完整的单晶就形成了。

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